用戶是位于北京懷柔的實驗室，系guo家級新型科研事業(yè)單位，面向清潔低碳安全高效能源體系構建和“碳達峰、碳中和”戰(zhàn)略目標，開展戰(zhàn)略性、前瞻性、基礎性的科學技術研究。
Thetametrisis膜厚測量儀設備主要應用于客戶某工藝階段的氧化物、光刻膠、半導體化合物等涂層厚度方面的測量。
ThetaMetrisis的核心技術是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內準確測量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。
FR-μProbe顯微薄膜測量儀提供一站式解決方案，通過光學顯微鏡在各種模式下進行光學測量，如吸光度、透射率、反射率和熒光等。
FR-μProbe主要包含兩個光學組件：一個在顯微鏡支持的光譜范圍內運行的光譜儀和一個安裝在三筒光學顯微鏡C-mount端口上的模塊。用于測量的光源來自光學顯微鏡本身。測量光斑的大小區(qū)域由所用物鏡的放大倍數(shù)定義。通常對于50X物鏡，測量區(qū)域是一個直徑約5μm的圓形。通過使用更高放大倍率或更小孔徑的物鏡，可以進一步縮小測量光斑。
